2021年5月26日,中政国研信息服务中心受项目单位委托对公司自主研发的“高性能Feedthrough关键技术开发与应用”项目组织科技成果评价。
按照该项目应用领域、产业化推广角度出发,中心邀请中国民营科技促进会为该项目成果评审牵头单位,并邀请了
中国科学院近代物理研究所副所长/中国工程院院士、中国科技大学教授、东南大学教授、清华大学副教授、中国电子科技集团公司第五十五研究所副总工程师/教授级高工、兰州大学院长/教授、北京大学教授、华北电力大学教授、东南大学教授、中国工程物理研究院流体物理研究所副总工程师/研究员、中国科学院高能物理研究所副主任/研究员等十一位国内知名专家参与评审。
该公司孙主任详细阐述了立项课题背景。Feedthrough(中文翻译:真空射频连接器、穿墙子等)是一种穿过真空腔壁,在大气与真空间进行直流或射频信号传输的连接器。目前,该产品主要用于带电粒子加速器、真空炉、真空检漏仪、核反应堆、航天航空、半导体、高端装备制造、新材料制备等设备上,是这些设备研发生产不可或缺的关键部件,具有广阔的用途。
在2018年前,由于我国在feedthrough封接技术方面还达不到产品要求,我国一直不能生产出自己的高质量feedthrough。我国所用的feedthrough都基本依赖进口,在科研生产中经常受制于国外公司。市场上的feedthrough主要由日本的京瓷公司、美国的MPF、美国的SST、英国的TC等公司提供,性能一般,而且价格昂贵,时刻有被禁运的风险。例如:高性能宽带feedthrough是很多束测设备不可或缺的信号引出装置,但现有市场上尚无可直接采购的宽带feedthrough,如果从国外进口(例如从日本京瓷采购)则价格十分昂贵,而且供货周期长。
为了打破国外技术封锁,填补国内空白,解决国外“卡脖子”技术,国产化高品质feedthrough并将知识产权掌握在自己手中,项目团队从无到有,进行了高性能feedthrough的研发生产。
之后,中心组织专家围绕该项目涉及的项目主要原理、技术内容及路线、等问题与项目单位展开交流,在详细听取了项目单位的研发描述、技术总结后总结出该项目以下创新点:
1)通过优化电磁场传输匹配与结构设计,研发的Feedthrough实现了真空与大气之间进行电磁信号的低插损传输。SMA型、N型和HL29型的Feedthrough工作频率带宽上限分别达到17GHz、13GHz和4.2GHz。
2)突破了小尺寸陶瓷与金属焊接、高低温下陶瓷与金属热胀冷缩相匹配等技术,研发的Feedthrough真空漏气率低于5×10-13 Pa·m3/s;工作温度最低到-271℃,最高到600℃。
3.经第三方机构检测符合Feedthrough的产品标准。经多家用户报告反馈,效果良好。
4.该产品具有自主知识产权,打破了国外技术垄断,填补了国内空白。
综上所述,评价委员会认为该项目整体技术达到国际先进水平,其中带宽技术指标达到国际领先水平。